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关于设备及装置制作事业

气柜
气柜里装载著充填有工业气体的气瓶,并设置阀门和测量设备,以确保安全供气。主要用于大学、研究机构和生产工厂等。针对半导体工厂等,还有一种能够供应大量特殊气体的设备,称为 BSGS(Bulk Specialty Gas System),我们可以根据客户的要求来设计和制造适合的设备。

高纯度气体纯化装置
这是可去除氮气、氧气、氢气、氩气、氦气和氨气等各种气体中杂质,并提供超高纯度气体的装置。使用流量范围从研究开发用的小型机种至大规模工厂用的大型机种敝司皆可应对。敝司长年以来持续向业界第一线提供Puremate1400系列纯化装置。

排气处理装置
使用于半导体制造的气体多数具有可燃性、自燃性、腐蚀性、毒性等多种特性。排气处理装置(除害装置)就是用来对这些气体进行无害化处理,使其可以排放到大气中的装置。我们提供各种各样的排气处理装置(除害装置),包含燃烧式(空冷和水冷)、等离子式、吸附式(干式)等各种处理方式。敝司长年致力于排气处理装置(除害装置)的开发、设计、制作,利用我们累积的专业技术来提供符合顾客使用条件的最佳设备。

其他设备
敝司充分发挥我们的专业技术知识,提供符合顾客用途的最佳机器设备。并依照顾客要求量身订做,设计并制作从半导体到一般产业所使用的各种气体设备。
设备实例
气体分流阀箱(VMB、VALVE MANIFOLD BOX)
TEOS等液体供给机器/各种气体的混合装置
特殊气体充填设备/医疗用气体充填设备

氢气加气站
可降低二氧化碳排放量的氢气作为下一代清洁能源之一而备受期待。敝司所从事的氢气站建设,是为了提供氢气充填的服务给用马达驱动的氢燃料电池车。
大阳日酸电子设备事业部产品列表
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