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機器・装置製作事業について
シリンダーキャビネット
産業ガスが充填されたシリンダーを格納し、バルブや計測機器を装着して、安全にガスの供給を行う装置です。主には、大学や研究機関、生産工場等で使用されています。また、半導体工場等向けのBSGS（Bulk Specialty Gas System）と呼ばれる特殊ガス大量供給が可能な装置など、お客様のご要望に沿った最適な装置の設計・製作も可能です。
ガス精製装置
窒素・酸素・水素・アルゴン・ヘリウム・アンモニアなど、多岐にわたるガス中の不純物を除去し、超高純度ガスを供給する装置です。当社では、研究開発用の小型モデルから大規模工場を対象とした大型モデルまで対応可能な技術力を有し、業界の第一線に”Puremate1400シリーズ”などの精製装置を製作、提供しています。
排ガス処理装置
半導体製造に使用されるガスの多くは「可燃性」「自燃性」「腐食性」「毒性」など多くの特性を持ちます。これらのガスを、無害化して大気中に排出可能にするための装置が排ガス処理装置（除害装置）です。処理方式としては「燃焼式（空冷・水冷）」「プラズマ式」「吸着式（乾式）」などがあり、当社では長年に渡って多種多様な排ガス処理装置（除害装置）を開発・設計・製作してきました。これからも、最適な装置を提供いたします。
その他機器
当社は、総合的なノウハウを持っている強みを活かし、お客様の用途に合わせて最適な機器をご提供いたします。ご要望に合わせたオーダーメイドでの対応で、半導体用から一般産業用まで各種ガス機器の設計・製作を行っています。
機器の一例
ガス分岐ボックス（VMB：バルブマニホールドボックス）
TEOSなどの液体供給機器／各種ガスの混合装置
特殊ガス充填設備／医薬用ガス充填設備
水素ステーション
二酸化炭素排出量を抑えられることから、次世代のクリーンエネルギーとして期待されている水素ガス。その水素ガスを燃料として、モーターを駆動させる燃料電池自動車へ水素を充填する「水素ステーション」の建設を当社で行っています。